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华卓精科筹资提速产业化基地建设

 

  本报讯(融媒体中心记者 方针)日前,集成电路装备及关键零部件企业华卓精科获得浑璞投资、中国国际金融股份和红星美凯龙控股集团共计8700万元战略投资,资金将用于推进中高端光刻机核心部件的国产化进程。9月底,华卓精科还收到北京市经济和信息化委员会拨付的国家科技重大专项中央财政资金合计1.39亿元。

  光刻机被誉为新时代“两弹一星”般的“神器”和世界上最精密的仪器。而光刻机双工件台是光刻机的核心子系统,可以想象为两架时速1000公里/小时的飞机在任意时刻的飞行位置偏差不超过一个微米。如此极端的性能指标,使光刻机双工件台成为当之无愧的“精密机械之王”,其制造也成为世界级难题。

  华卓精科于2012年创立,专注于集成电路装备技术研发及产业化,在集成电路制造用前道光刻机的重要部件——双工件台的研发和产业化方面处于领先地位,是除世界光刻机龙头荷兰ASML公司外全球第二家可以生产光刻机双工件台的企业,同时在激光退火、硅片堆叠、扫描干涉光刻、平面光栅、高精密运动台、静电卡盘、隔振器等集成电路装备和关键零部件领域也处于国内领先水平,并于2015年登陆新三板。

  当前,华卓精科亦庄园区暨光刻机工件台产业化基地正在建设当中,总投资超过4.9亿元,建成后达产将达到产值5亿元以上,预计2019年底正式投入使用。

 
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